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深圳市中圖儀器股份有限公司

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精密共聚焦顯微鏡測(cè)量?jī)x器

參  考  價(jià): 950000

訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào):VT6100

品       牌:CHOTEST/中圖儀器

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:深圳市

更新時(shí)間:2025-07-22 09:18:15瀏覽次數(shù):80次

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產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合
VT6000系列精密共聚焦顯微鏡測(cè)量?jī)x器以共聚焦技術(shù)為原理結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。

VT6000系列精密共聚焦顯微鏡測(cè)量?jī)x器用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量??蓽y(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

它以共聚焦技術(shù)為原理結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。

精密共聚焦顯微鏡測(cè)量?jī)x器


產(chǎn)品功能

1)3D測(cè)量功能:設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能;

2)影像測(cè)量功能:設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測(cè)量功能,可進(jìn)行長(zhǎng)度、角度、半徑等尺寸測(cè)量;

3)自動(dòng)拼接功能:設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量;

4)數(shù)據(jù)處理功能:設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析工具功能:設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)批量分析功能:設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;

7)便捷操作功能:設(shè)備配備操縱桿,支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等;

8)光源安全功能:光源設(shè)置無(wú)人值守下的自動(dòng)熄燈功能,當(dāng)檢測(cè)到鼠標(biāo)軌跡長(zhǎng)時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源,防止光源高亮過(guò)熱損壞,并有效延長(zhǎng)光源使用壽命;

9)鏡頭安全功能:設(shè)備配備壓力傳感器,并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮,進(jìn)入急停狀態(tài),大幅減小碰撞沖擊力,有效保護(hù)鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn)。


不同應(yīng)用場(chǎng)景下的3D形貌

VT6000系列精密共聚焦顯微鏡測(cè)量?jī)x器主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測(cè)中,其次是對(duì)表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測(cè)中。

3D形貌圖片:

精密共聚焦顯微鏡測(cè)量?jī)x器


影像測(cè)量功能界面

精密共聚焦顯微鏡測(cè)量?jī)x器

應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造:晶圓表面缺陷檢測(cè)、V型槽深度測(cè)量、激光孔形貌分析。

3C電子:手機(jī)玻璃屏平整度、微透鏡陣列曲率、PCB基材粗糙度檢測(cè)。

汽車(chē)工業(yè):精密零部件幾何輪廓、金剛石鉆頭磨損評(píng)估。

科研與新材料:超光滑表面粗糙度、微納結(jié)構(gòu)體積計(jì)算、太陽(yáng)能柵線形貌建模。


部分技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)VT6100


行程范圍

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量50kg
測(cè)量原理共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
顯微物鏡10×;20×;50×;100×
視場(chǎng)范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測(cè)量
寬度測(cè)量
XY位移平臺(tái)負(fù)載10kg
控制方式電動(dòng)
Z0軸掃描范圍10mm
物鏡塔臺(tái)5孔電動(dòng)
光源白光LED

懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解。

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。


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